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第41回マイクロ磁区専門研究会
日時:平成6年12月16日(金)14:00-17:30
場所:富士通クロスカルチャーセンター
連絡先:70名

テーマ:

  1. WINGフラックスガイドMRヘッド 越川誉生、大塚善徳(富士通ファイルシステム事業本部)
  2. X線鏡面反射を用いた磁気多層膜評価法 宇佐美勝久(日立 日立研究所)
  3. 人工格子腰の熱処理効果 鹿野博司,鈴木淳子,岡部明彦,根来陽一,香川 潔,矢追俊彦,林 和彦(ソニー中央研究所)
  4. Fe-SiO2グラニュラーメタル媒体 安部俊郎,瀬川 勝,西原敏和(日本ビクター 中央研究所)
富士通の越川氏からは,コンタクト記録用WINGフラッソクスガイドMRへッドが報告された.フラツクスガイドを横長にして形状異方性を付与するとともにWING部に磁区制御膜を配置した構造で,フラツクスガイドに起因するバルクハゥゼンノィズを抑制できること,従来型MRへッドと同等のクロストーク特性が得られること,媒体とのコンタクト状態での電気的信頼性が向上することなどが示された.
日立の宇佐美氏からは,0.001 度の人射角精度で実測したX線低角反射特性曲線を多層膜構成モデルによるシミュレーション曲線とパラメータフィツティングすることにより,各層の密度膜厚・界面粗さを評価する手法が報告された.NiFe/Cr多層膜で,腰厚は電子顕微鏡の観測結果とよくー致すること・基板界面での境界層や表面酸化層も考慮した高精度な評価が可能であることなどが示された.
ソニーの鹿野氏からは,Co/Cu系,NiFe/Cu系人工格子膜のGMR耐熱性について報告があった.Feバッファ7層の挿入,Cu中間層への非固港元素Agの混入により耐熱性が向上すること,耐熱性向上の原因として,Feバッファ層による結晶粒の増大,AgとCuのミクロな層分離がいずれもCuと磁性元素の粒界拡散を抑制するためとの仮説が示された.
日本ビクターの安部氏からは,Fe-Sio2グラニュラー媒体の製造方法とノイズ特性に主眼を置いた記録再生特性が報告された.Neガス中スパッタリングにより,過度の高温アニールをしなくても 1000-1200 0e の比較的高いHCが得られること,粒間相互作用がないためジグザグ遷移になりにくく,高BPIでも低ノイズであることなどが示された.
いずれの報告も関心の高い興味深いテーマであり,本研究会の特徴であるインフォーマルな雰囲気で活発な質疑庇答が行われた.また研究会終了後の忘年会でも引き続き盛り上がった楽い、一時を過したことを付記しておく.
(富士通:戸田順三)