日 時: | 平成7年6月27日(火)11:00-16:00 |
場 所: | 早稲田大学国際会議場 |
参加者: | 約60名 |
今回は「微細加工技術の磁性薄膜への応用」を主題として, 中谷(金材技研)・大谷(東北大),山口(東北大),前田(三洋 電横)一 入江(松下電器),小野(京大)および福山(東大)に 講演を依頼した.粉体粉末冶金協会との共催とし,同協会の大 会のー部として行なったため,参加者数は多かったが,応用磁 気学会員は約半数である.
微細加工技術は半導体分野で著しく発展し,応用に関しても
その役割は重要なものとなっている.それに比べて,磁性体や
金属分野での利用はまだごく僅かであり,逆にいうとまだ広い
未知の世界が残されているであろうと期待される.研究の進展
を妨げてきた原因は,設備に要する豊用が巨大であることと,
応用への展開の見通しが明らかでないことなどであろう.
中谷,大谷は金属に対して微細加工技術をいちはやく利用し
て金属微粒子を生成しており,その性質が基礎研究の対象とし
て興味深いものであることを紹介した.
山口は応用磁気の分野
で既に応用されているややマクロな微細加工についてサーベイ
した.
前田と入江はGMR膜の微細加工を試みており,小野は
加工した基坂上に成膜する実験を紹介しているが,いずれも
GMR特性の向上を目指した研究であり,GMR を増大させる
方向へ展開に期待できることを示した.
福山は微小なサイズの
磁性体の磁化過程の理論的考察を行い,今後の実験に示唆を与
えた.
磁性体研究において, 微細加工技術は新分野を拓く手段であ り,基礎研究面では興味深いものであることが認識されてきた が,GMRとの関連で応用面からも注目され始めたので, その 利用は今後拡大されていくことが予想される.